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一种多阵列集成液滴沉积装置制造方法及图纸

技术编号:9472114 阅读:117 留言:0更新日期:2013-12-19 05:06
本实用新型专利技术公开了一种多阵列集成液滴沉积装置,本装置包括:喷嘴、弹性壁、PZT驱动器、喷嘴板;其中,喷嘴上开有一墨水槽和多条导流槽,喷嘴正面设有墨水槽的注墨口,每一导流槽具有两端口,一端口与该墨水槽导通作为墨水的入口,另一端与喷嘴底部导通作为墨水的出口;所述喷嘴板与喷嘴底部连接,喷嘴底部的墨水出口与喷嘴板的喷孔对应;所述弹性壁的背面具有多条金属条,所述PZT驱动器具有多个驱动单元,所述弹性壁的正面作为墨水槽的底与喷嘴背面密封连接且弹性壁的金属条与墨水槽对应,所述弹性壁的背面与PZT驱动器底面连接且弹性壁的金属条与PZT的驱动单元对应。本装置墨腔结构简单,解决了墨腔的密封及形变传递的问题。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种多阵列集成液滴沉积装置,其特征在于包括:喷嘴、弹性壁、PZT驱动器、喷嘴板;其中,喷嘴上开有一墨水槽和多条导流槽,喷嘴正面设有墨水槽的注墨口,每一导流槽具有两端口,一端口与该墨水槽导通作为墨水的入口,另一端与喷嘴底部导通作为墨水的出口;所述喷嘴板与喷嘴底部连接,喷嘴底部的墨水出口与喷嘴板的喷孔对应;所述弹性壁的背面具有多条金属条,所述PZT驱动器具有多个驱动单元,所述弹性壁的正面作为墨水槽的底与喷嘴背面密封连接且弹性壁的金属条与墨水槽对应,所述弹性壁的背面与PZT驱动器底面连接且弹性壁的金属条与PZT的驱动单元对应。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:不公告发明人
申请(专利权)人:郑贺
类型:实用新型
国别省市:

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