【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了，加速度传感器芯片生产校验补偿方法旨在用于加速度传感器芯片批量生产测试，加速度传感器芯片生产校验补偿方法是用校准过的成品加速度传感器芯片做参考，成品加速度传感器芯片和待测成品矩阵排列放在特定旋转转台以特定的状态运行环境下，通过采样对加速度传感器芯片的ADC输出，并与参考加速度传感器芯片的输出作对比和运算，将要校准的参数写入待测加速度传感器芯片内的存储区，再读取加速度传感器芯片的ADC输出，再对比判断该待测成品是否校准成功，如果校准不成功，则当该颗待测成品为失效电路。测试设备根据该方法一次能够并行测试多颗电路。【专利说明】
本专利技术涉及集成电路制造领域，尤其涉及。
技术介绍
加速度传感器芯片应用广泛，特别是消费电子领域，原理十分简单，但是加工制造工艺的要求非常高，产品的个体特性差异比较大，需要对每一片芯片进行特性分析，对其各参数进行校验，并对其进行补偿，所以需要一种技术对其分析出补偿参数，写入到加速度传感器芯片内的存储区，加速度传感器芯片每次上电运行都会从加速度传感器芯片内的存储区中读取补偿参数来补偿偏差。这样的话必定使生产这...
【技术保护点】
一种加速度传感器芯片生产校验补偿方法，其特征在于，包括如下步骤：11)将校准过的成品加速度传感器芯片和待测加速度传感器芯片组排列放置在测试旋转转台上；12)将待测加速度传感器芯片组静态放置，分别读取加速度传感器芯片的ADC输出：所述加速度传感器芯片的ADC输出为M=K1(N+K2＊A)+K3＊B????(a)所述M为加速度传感器芯片的标准输出，其中A，B两个参数补偿系数，为工艺和设计上的固定值，N为测试旋转转台上的加速度的实际输出，K1，K2，K3为这个校正补偿的三个补偿值；设K1=1，K2=0，得到M=N+K3＊B：13)测得步骤12)中的M数值，得到K3的补偿值：把得到...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：徐君燕，卜建荣，李时辉，姜磊，
申请(专利权)人：浙江工业职业技术学院，
类型：发明
国别省市：
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