【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种应用于单晶硅片生产领域的烤箱专用隔断装置，其特征在于：包括由上隔板、下隔板和立柱构成的框架结构，所述的上隔板和下隔板上分别设置有通孔；所述的立柱为多个，立柱的上端与上隔板相固定，立柱的下端与下隔板相固定。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：韩庆辉，范玉红，刘巍，范靖，曹绍文，
申请(专利权)人：阳光硅峰电子科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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