加速OPC的方法和装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种加速OPC的方法和装置，所述方法包括：物理版图区域划分；区域间图形几何同构检测；区域内OPC；区域OPC数据的复用。本发明专利技术还提供了一种加速OPC的装置，该装置包括：物理版图区域划分单元；区域间图形几何同构检测单元；区域内OPC单元；区域OPC数据的复用单元。本发明专利技术可提高对芯片的掩模版图进行OPC的速度，缩短对芯片的掩模版图进行OPC的时间。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种加速OPC的方法，包括：a)物理版图区域划分，将物理版图划分为多个格点区域；b)区域间图形几何同构检测，检测不同格点区域之间的几何同构，构造需要OPC的区域的序列；c)区域的OPC，对需要OPC的区域执行OPC操作；d)区域OPC数据的复用，将需要OPC的区域的OPC数据复用到相关的具有同构关系的其它格点区域。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈岚，吴玉平，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：