下载加速OPC的方法和装置的技术资料

文档序号:9406415

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本发明提供了一种加速OPC的方法和装置,所述方法包括:物理版图区域划分;区域间图形几何同构检测;区域内OPC;区域OPC数据的复用。本发明还提供了一种加速OPC的装置,该装置包括:物理版图区域划分单元;区域间图形几何同构检测单元;区域内OP...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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