【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种设计在衬底上的层中的导向图形开口的方法，当所述导向图形开口被经过定向自组装的自组装材料填充时，所述导向图形开口在所述导向图形开口内的规定位置处产生一组自组装域，该方法包括：（a）规定自组装域的数目和对应位置；（b）基于自组装域的所述规定数目和规定位置生成初始导向图形开口的数学描述，并指定所述初始导向图形开口作为当前导向图形开口；（c）使用计算机，计算数学模型以产生所述当前导向图形开口内的自组装域的计算出的数目和计算出的高概率位置，其中所述函数表示所述自组装域将在所述当前导向图形开口内的所述规定位置处形成的相对概率；（d）将所述数学模型的高概率位置的所述计算出的数目与自组装域的所述规定数目进行比较，并将所述高概率位置的所述计算出的位置与自组装域的所述规定位置进行比较；（e）基于步骤（d）的所述比较，调整所述当前导向图形开口；以及（f）重复步骤（c）到（e），直到（i）自组装域的所述计算出的数目与自组装域的所述规定数目相同且（ii）自组装域的所述高概率位置与自组装域的所述规定位置在规定范围内一致。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：郑雅如，黎家辉，刘其俊，J·W·皮特拉，C·T·雷特纳，
申请(专利权)人：国际商业机器公司，
类型：发明
国别省市：
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