【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
反斯托克司性质荧光随动针孔微结构角谱扫描测量装置,其特征在于:包括激光器(1)、第一扫描振镜(2)、第二扫描振镜(3)、扫描透镜(4)、第一光阑(5)、第一成像透镜(6)、分光镜(7)、第二光阑(8)、显微物镜(9)、扫描载物台(10)、管镜(11)、荧光随动针孔(12)、第二成像透镜(13)、窄带滤光片(14)和CCD相机(15);从激光器(1)发出的光束经过第一扫描振镜(2)和第二扫描振镜(3)反射后,依次经过扫描透镜(4)、第一光阑(5)、第一成像透镜(6)、分光镜(7)、第二光阑(8)、显微物镜(9)照射到随扫描载物台(10)轴向运动的被测微结构样品表面,构成角谱扫描照明光路;从被测微结构样品表面漫反射的光束再次经过显微物镜(9)、第二光阑(8),并由分光镜(7)反射,经管镜(11)会聚到荧光随动针孔(12),激发出的荧光被第二成像透镜(13)和窄带滤光片(14)成像到CCD相机(15),构成荧光随动针孔探测光路;第一扫描振镜(2)和第二扫描振镜(3)的转轴相互垂直,扫描透镜(4)的后焦平面与第一成像透镜(6)的物平面重合于第一光阑(5)所在平面;第一成像透镜(6)的像平面与显 ...
【技术特征摘要】
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。