电子级硫酸生产方法技术

本发明专利技术公开了一种电子级硫酸生产方法，依次包括如下步骤：提供工业级的三氧化硫原料进入原料储槽；上述三氧化硫原料输送进入蒸发槽内；对蒸发槽加热，加热产生的三氧化硫蒸汽经过过滤器后进入吸收塔；在吸附塔内用电子级超纯水对三氧化硫蒸汽进行吸收，控制吸收液的浓度，吸收后的溶液经过冷却器冷却后进入脱气塔；脱气塔采用压缩空气对硫酸溶液进行吹脱，而后再经过冷却后进入成品储槽；最后经过超滤去除颗粒后得到最终的应用于集成电路行业的电子级硫酸。跟现有工艺相比，本发明专利技术工艺的操作温度低于120℃，因此比要工业级硫酸作为原料高温蒸馏工艺要安全，另外，因此对比采用石英玻璃设备从设备材质上保证了不会给电子级硫酸产品带来污染。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种电子级硫酸生产方法，其特征在于，步骤为：步骤1、提供工业级的三氧化硫原料进入原料储槽；步骤2、位于原料储槽内的三氧化硫原料再被输送进入蒸发槽内；步骤3、对蒸发槽内的三氧化硫原料加热，加热后产生的三氧化硫蒸汽经过过滤器(1)后进入吸收塔(2)；步骤4、在吸附塔(2)内用电子级超纯水对三氧化硫蒸汽进行吸收，控制吸收液的浓度，吸收后的硫酸溶液通过第一传输泵(3)被送入第一冷却器(4)内冷却，冷却后的硫酸溶液进入脱气塔(7)内；步骤5、在脱气塔(7)内采用压缩空气对硫酸溶液进行吹脱，而后再进入第二冷却器(5)冷却，冷却后的硫酸溶液进入成品储槽(6)存储；步骤6、成品储槽(6)内的硫酸溶液经过超滤去...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：汤剑波，
申请(专利权)人：上海正帆科技有限公司，合肥正帆电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：