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本发明公开了一种电子级硫酸生产方法，依次包括如下步骤：提供工业级的三氧化硫原料进入原料储槽；上述三氧化硫原料输送进入蒸发槽内；对蒸发槽加热，加热产生的三氧化硫蒸汽经过过滤器后进入吸收塔；在吸附塔内用电子级超纯水对三氧化硫蒸汽进行吸收，控制吸...该专利属于上海正帆科技有限公司;合肥正帆电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海正帆科技有限公司;合肥正帆电子材料有限公司授权不得商用。