消除衍射光学元件零级衍射光斑的方法技术

技术编号:9356218 阅读:258 留言:0更新日期:2013-11-20 23:26
一种消除衍射光学元件零级衍射光斑的方法,在衍射光学元件的前面或后面放置一块表面垂直于光束传输方向的散射片,所述的散射片输出的半孔径角与所述衍射光学元件输出的半孔径角相同。本发明专利技术可应用于光刻机照明系统中,实现对光刻机传统、二极、四极照明模式下衍射零级的消除。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种消除衍射光学元件零级衍射光斑的方法,其特征在于,在衍射光学元件的前面或后面放置一块表面垂直于光束传输方向的散射片,所述的散射片输出的半孔径角与所述衍射光学元件输出的半孔径角相同。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:朱菁张方葛丹丹黄惠杰
申请(专利权)人:中国科学院上海光学精密机械研究所
类型:发明
国别省市:

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