温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种消除衍射光学元件零级衍射光斑的方法，在衍射光学元件的前面或后面放置一块表面垂直于光束传输方向的散射片，所述的散射片输出的半孔径角与所述衍射光学元件输出的半孔径角相同。本发明可应用于光刻机照明系统中，实现对光刻机传统、二极、四极照明模式下...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。