智能检测微波功率传感器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种智能检测微波功率传感器，包括衬底、在衬底上依次排列设置的共面波导第一地线、共面波导信号线、共面波导第二地线、传感电极、驱动电极和SOC电路，以及设置在共面波导第二地线上并与共面波导垂直的翘板式双端悬臂梁，翘板式双端悬臂梁的中部下侧与共面波导第二地线连接，一端悬空设置于共面波导信号线的上方，另一端悬空设置于传感电极和驱动电极的上方，SOC电路通过导线分别与共面波导第二地线、传感电极和驱动电极连接。本实用新型专利技术最大程度地减小功率传感结构对器件反射系数的影响，保证微波信号的良好传输性能，同时可以提高功率传感器的灵敏度和智能化。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种智能检测微波功率传感器，其特征在于，该传感器包括GaAs或Si材质的衬底（1）、在所述衬底（1）上依次排列设置的共面波导第一地线（21）、共面波导信号线（22）、共面波导第二地线（23）、传感电极（4）、驱动电极（5）和SOC电路（6），以及设置在所述共面波导第二地线（23）上并与共面波导（2）垂直的翘板式双端悬臂梁（3），所述翘板式双端悬臂梁（3）的中部下侧与共面波导第二地线（23）连接，一端悬空设置于共面波导信号线（22）的上方，另一端悬空设置于传感电极（4）和驱动电极（5）的上方，所述SOC电路通过导线分别与共面波导第二地线（23）、传感电极（4）和驱动电极（5）连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：韩磊，朱雁青，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：实用新型
国别省市：