【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种沿着处理路径传送衬底介质片材通过标记区的装置，所述装置包括：标记区，其用于对衬底介质片材进行标记；空气支承支撑导杆，其从所述标记区上游的第一位置延伸到所述标记区下游的第二位置；以及介质推车，其用于沿着所述处理路径运送所述片材，所述介质推车包括台板，在所述介质推车平移通过所述标记区时，所述台板用于将所述片材保持在其上面，所述介质推车由所述空气支承支撑导杆沿着所述第一位置和所述第二位置之间的所述处理路径支撑，所述空气支承支撑导杆包括气体层，所述气体层提供所述空气支承支撑导杆的外表面和所述介质推车的非接触支撑表面之间的非接触支承支撑。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：詹姆斯·J·思彭斯，诺曼·D·小鲁滨逊，
申请(专利权)人：施乐公司，
类型：发明
国别省市：
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