【技术实现步骤摘要】
基于对合并式MEMS加速计传感器斩波的降噪方法及电子电路
本专利技术大体上涉及电子电路,尤其涉及MEMS传感器电路。
技术介绍
微机电系统(MEMS)包括执行电功能和机械功能的小型机械装置,所述小型机械装置通过与制作集成电路使用的技术相似的光刻技术制作而成。一些MEMS装置是检测动作的传感器(如加速计),或是检测角速度的传感器(如陀螺仪)。加速计是一种经受响应于作用在其上的加速度的可测变化的装置。MEMS加速计包括压电性加速计、压阻性加速计和电容性加速计。由于MEMS传感器尺寸小,因而被包含在电子装置(例如,视频游戏控制器和智能手机)中。响应于加速度,电容性加速计的电容发生变化。感应电路用于感应MEMS传感器中的电容变化。这些感应电路的设计对噪声的降低和尺寸的最小化提出了挑战。
技术实现思路
除其它情况之外,本专利技术讨论了降低MEMS传感器中噪声的系统和方法。装置实例为电子电路,其包括被配置为电连接于MEMS传感器电路的电容-电压转换电路。所述电容-电压转换电路包括差分斩波电路通路和差分Sigma-delta模数转换器(ADC)电路,所述差分斩波电路通路被配置为接收差分MEMS传感器输出信号,并对所述差分斩波电路通路的极性进行反转;所述差分Sigma-delta模数转换器(ADC)电路被配置为对差分MEMS传感器输出信号进行采样,并提供表示所述MEMS传感器的电容变化的数字信号。本专利技术还提供了另一种电子电路,包括:电容-电压转换电路,被配置为电连接到MEMS传感器电路。所述电容-电压转换电路包括:差分电路通路,被配置为接收差分MEMS传感器输出信号;差分 ...
【技术保护点】
一种电子电路,包括:电容?电压转换电路,被配置为电连接到微机电系统(MEMS)传感器电路,所述电容?电压转换电路包括:差分斩波电路通路,被配置为接收差分MEMS传感器输出信号并对所述差分斩波电路通路的极性进行反转;以及差分sigma?delta模数转换器(ADC)电路,被配置为对所述差分MEMS传感器输出信号进行采样并提供表示所述MEMS传感器电路中电容变化的数字信号。
【技术特征摘要】
2012.04.04 US 61/620,0191.一种电子电路,包括:电容-电压转换电路,被配置为电连接到微机电系统MEMS传感器电路,所述电容-电压转换电路包括:差分斩波电路通路,被配置为接收差分MEMS传感器输出信号并对所述差分斩波电路通路的极性进行反转;以及差分sigma-delta模数转换器ADC电路,被配置为对所述差分MEMS传感器输出信号进行采样并提供表示所述MEMS传感器电路中电容变化的数字信号;其中,所述差分sigma-delta模数转换器ADC电路包括运算放大器opamp电路;以及所述电子电路进一步包括:第一斩波开关矩阵电路,被配置为在所述opamp电路的输入端对所述差分斩波电路通路的极性进行反转;以及第二斩波开关矩阵电路,被配置为在所述opamp电路的输出端对所述差分斩波电路通路的极性进行反转;其中,所述电子电路进一步包括:相位时钟电路,被配置为产生第一运算时钟相位和第二运算时钟相位,其中,在所述第一运算时钟相位期间,所述第一斩波开关矩阵电路被配置为将所述MEMS传感器电路与所述差分sigma-delta模数转换器ADC电路电隔离以使得所述第二斩波开关矩阵电路保持所述差分MEMS传感器输出信号的原先值;以及其中,在所述第二运算时钟相位期间,所述第一斩波开关矩阵电路和所述第二斩波开关矩阵电路被配置为将所述差分斩波电路通路的极性进行反转;其中,所述电子电路进一步包括斩波时钟电路,所述斩波时钟电路被配置为向所述差分斩波电路通路提供伪随机时钟信号。2.根据权利要求1所述的电子电路,其中,所述差分sigma-delta模数转换器ADC电路包括比较器电路;以及所述电子电路进一步包括伪随机噪声发生电路,所述伪随机噪声发生电路电连接到所述比较器电路且被配置为将抖动噪声加至所述比较器电路的输入端。3.根据权利要求1所述的电子电路,该电子电路进一步包括:第三斩波开关矩阵电路,被配置为转换所述差分sigma-delta模数转换器ADC电路中差分反馈电路通路的极性,以及其中,所述差分反馈电路通路从所述第二斩波开关矩阵电路的输出端延伸到所述第三斩波开关矩阵电路的输入端。4.根据权利要求1所述的电子电路,该电子电路进一步包括差分反馈电路通路,所述差分反馈电路通路从所述第二斩波开关矩阵电路的输出端延伸到所述第一斩波开关矩阵电路的输入端。5.根据权利要求1所述的电子电路,该电子电路进一步包括:电连接于所述MEMS传感器电路的驱动电路,其中,所述驱动电路被配置为将方波激励信号加至所述MEMS传感器电路的驱动输入端;以及其中,所述第一运算时钟相位和所述第二运算时钟相位具有与所述方波激励信号相同的频率和占空比。6.根据权利要求1至5中任一项所述的电子电路,该电子电路进一步包括所述MEMS传感器电路,其中,所述MEMS传感器电路被配置为响应于第一方向上的线性加速度而改变电容。7.一种电子电路,包括:电容-电压转换电路,被配置为电连接到微机电系统MEMS传感器电路,所述电容-电压转换电路包括:差分电路通路,被配置为接收差分MEMS传感器输出信号;差分sigma-delta模数转换器ADC电路,被配置为对所述差分MEMS传感器输出信号进行采样并提供表示所述MEMS传感器电路中电容变化的数字信号,其中,所述差分sigma-delta模数转换器ADC电路包括比较器电路;以及伪随机噪声发生电路,电连接到所述比较器电路且被配置为将抖动噪声加至所述比较器电路的输入端;其中,该电子电路进一步包括:开关电路,电连接到所述MEMS传感器电路;驱动电路,电连接到所述MEMS传感器电路且被配置为将方波激励信号加至所述MEMS传感器电路的驱动输入端;相位时钟电路,电连接到所述开关电路且被配置为产生第一运...
【专利技术属性】
技术研发人员:乔纳森·亚当·克莱克斯,约恩·奥普里斯,贾斯廷·森,
申请(专利权)人:快捷半导体苏州有限公司,快捷半导体公司,
类型:发明
国别省市:
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