【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种转印装置，将作为被转印物的图案或薄膜转印到基板上，其特征在于，具有：保持单元，其在使担载体和所述基板彼此分离并且使所述担载体的一个表面与所述基板相向的状态下，保持所述担载体和所述基板，在所述担载体的所述一个表面上担载应转印到所述基板上的所述被转印物及规定的定位标记，拍摄单元，其从所述担载体的与所述一个表面相反的表面一侧，经由所述担载体对所述定位标记进行拍摄，图像处理单元，其通过图像处理来从所述拍摄单元所拍摄的图像中检测出所述定位标记，定位单元，其基于检测出的所述定位标记来调整所述基板和所述担载体之间的相对位置；所述拍摄单元具有用于对焦到所述定位标记上的焦点调整机构，该焦点调整机构基于由所述图像处理单元实施了对比度增强处理的所述定位标记的图像来进行对焦。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：谷口和隆，川越理史，
申请(专利权)人：大日本网屏制造株式会社，
类型：发明
国别省市：
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