具有窗口的化学机械抛光层的制造方法技术

具有窗口的化学机械抛光层的制造方法。提供一种用于化学机械抛光垫的抛光层的形成方法，所述方法包括：提供模具；提供衬套；提供衬套粘合剂；提供窗口块；提供窗口粘合剂；提供可固化材料；提供喷嘴；提供切割刀片；提供打磨带；提供打磨复合物；使用衬套粘合剂将衬套的底表面结合至模基体，其中衬套的上表面和环绕壁限定出模腔；使用窗口粘合剂将窗口块结合至衬套的上表面；在加料时间段CP通过喷嘴开口将可固化材料加入到模腔中；使可固化材料在模腔中固化成饼状；将模基体和饼与环绕壁分离；将打磨复合物应用到切削刃；使用打磨带打磨切割刀片；并且将饼切片为多个化学机械抛光层，每个抛光层具有整体的窗口。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于化学机械抛光垫的抛光层的形成方法，所述方法包括：?提供模具，所述模具具有模基体和连接到模基体的环绕壁；?提供具有上表面、底表面和平均厚度为2至10cm的衬套；?提供衬套粘合剂；?提供窗口块；?提供窗口粘合剂；?提供包括液体预聚物的可固化材料；?提供具有喷嘴开口的喷嘴；?提供具有切削刃的切割刀片；?提供打磨带；?提供打磨复合物；?使用衬套粘合剂将衬套的底表面结合至模基体，其中衬套的上表面和环绕壁限定出模腔；?使用窗口粘合剂将窗口块结合至衬套的上表面；?在加料时间段CP通过喷嘴开口将可固化材料加入到模腔中；?使可固化材料在模腔中固化成饼状；?将模基体和饼与环绕壁分离；?将打磨复合物应用到切削刃；?使用打磨带打磨切割刀片；并且?将饼切片为多个化学机械抛光层，每个抛光层具有整体的窗口。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：B·坎特尔，K·麦克休，J·穆奈恩，G·麦克克莱恩，D·赫特，R·A·布拉迪，C·A·杨，J·B·米勒，
申请(专利权)人：罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司，
类型：发明
国别省市：