芯片研磨方法技术

技术编号:9268789 阅读:109 留言:0更新日期:2013-10-24 19:20
本发明专利技术提出一种芯片研磨方法,其特征在于包括以下步骤:使用400号水砂纸研磨芯片的塑封体至露出金属片;使用600~2400号水砂纸研磨芯片的金属片至露出芯片;使用4000号水砂纸研磨芯片,且以氧化铝水溶液抛光。本发明专利技术通过利用400~4000号水砂纸替代化学试剂,可以加速工程时间减少多种步骤,避免化学试剂接触样品,避免样品损伤机率。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种芯片研磨方法,其特征在于包括以下步骤:使用400号水砂纸研磨芯片的塑封体至露出金属片;使用600~2400号水砂纸研磨芯片的金属片至露出芯片;使用4000号水砂纸研磨芯片,且以氧化铝水溶液抛光。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:张芳
申请(专利权)人:上海唯环网络科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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