【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种MEMS谐振器补偿系统，包含MEMS芯片，模数转换器，补偿模块，电荷泵和MEMS驱动电路，其中MEMS芯片包含温度传感器和MEMS谐振器，所述模数转换器将所述温度传感器的温度电压信号转换为温度数字信号，其特征在于，所述补偿模块根据所述温度数字信号改变输出电压，所述电荷泵根据所述输出电压调节所述MEMS谐振器的偏压，从而调节所述MEMS谐振器的频率以对所述MEMS谐振器进行补偿。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈永康，董靓，周志健，刘政谚，许国辉，邝国华，冯良，杨恒，李昕欣，卢煜旻，
申请(专利权)人：广东合微集成电路技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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