【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
真空双室扩散连接装置,其特征在于:包括内室,所述内室分割为可启闭的高温室和常温室,所述高温室与所述常温室之间可启闭地连通,所述高温室和常温室分别与高温真空获得系统和常温真空获得系统连通,所述高温室内设置有上模组件和下模组件,所述常温室设置移动工件的机械手,所述机械手在所述高温室和常温室内移动,所述高温室内设置有加热装置。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:杨建国,吴维贵,
申请(专利权)人:北京智创联合科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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