一种基于压电螺纹驱动技术的微动台制造技术

本实用新型专利技术公开了属于精密机械与自动控制领域的一种基于压电螺纹驱动技术的微动台，所述基于压电螺纹驱动技术的微动台包括采用压电螺纹驱动器直接驱动微动台一维微动台和二维微动台。在上板上的适当位置上对称设置两个固定套筒，两个压电螺纹驱动器与固定套筒内螺纹配合连接；压电螺纹驱动器中心固定驱动螺杆，并与下板接触；两个弹簧与钢球呈等腰三角形支撑在上板与下板之间本实用新型专利技术压电陶瓷的微振动可使驱动螺杆沿直线的正、反方向运动，驱动螺杆直接驱动微动台，无中间传动机构；微动台可实现XY旋转，俯仰台面，该新型微动台具有结构简单、集成度高、负载能力强等特点，适合在光路调整、精密驱动、微系统、结构姿态控制、生物医药等领域应用。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种基于压电螺纹驱动技术的微动台，其特征在于，所述基于压电螺纹驱动技术的微动台包括采用压电螺纹驱动器直接驱动微动台一维微动台和二维微动台；所述一维微动台为在可相对移动的上板（3）和下板（4）的十字交叉中心线的一条两端，弹簧（7）支撑在上板（3）和下板（4）之间，然后螺钉（6）穿过弹簧（7）后将上板（3）和下板（4）连接，在十字交叉中心线的另一条的一端，钢球（5）固定在上板（3）和下板（4）之间，在另一端的上板（3）上的圆通孔内配合插入固定套筒（2），压电螺纹驱动器（1）的定子圆板（10）与固定套筒（2）内螺纹连接；压电螺纹驱动器（1）中心固定驱动螺杆（8），并与下板（4）接触，构成一维微动台；所述二维微动台为在上板（3）对角线上，在其中一条的两端位置上对称设置圆通孔，两个圆通孔内各配合插入固定套筒（2），两个压电螺纹驱动器（1）的定子圆板（10）与固定套筒（2）内螺纹连接；压电螺纹驱动器（1）中心固定驱动螺杆（8），并与下板（4）接触；在另一条对角线的一端，钢球（5）固定在上板（3）和下板（4）之间，在该另一条对角线与钢球（5）同一侧，与钢球（5）呈等腰三角形处，弹簧（7）支撑在上板（3）和下板（4）之间，然后螺钉（6）穿过弹簧（7）后将上板（3和下板（4）连接，构成二维微动台。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：褚祥诚，王加煨，袁世明，
申请(专利权)人：清华大学，精拓丽音科技北京有限公司，
类型：实用新型
国别省市：