【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
滚动式倒片方法，其特征是，包括以下步骤：1）将盛有硅片的出片片架沿硅片中心轴线水平放置，放置的俯视图如图１；2）选择与出片片架尺寸相符的空的受片片架，将空的受片片架反扣在出片片架的上方，使出片片架与受片片架上的定位销（2）与定位孔（4）相互对准，出片片架上的片槽与受片片架上的片槽对应，将定位销（2）插入定位孔（4）牢固；3）将步骤2）两对接牢固的出片片架与受片片架，按出片片架中硅片中心连线为轴线旋转90度放倒，使放在出片片架片槽中的硅片仍然立于出片片架的片槽(3)中；4）将步骤3）放倒的两对接片架之出片片架（1?1）的平行于硅片轴线的外侧抬高至与水平面呈10~20度角，使出片片架中所盛的硅片滚入受片片架对应的片槽（3）中；５）对滚入硅片的受片片架，按硅片中心连线为轴线再小心旋转９０度使其恢复受片片架两侧槽平衡承载，取下出片片架，完成硅片的转移。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：刘伯实，严立人，陶耀轩，
申请(专利权)人：扬州晶新微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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