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滚动式倒片方法技术
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文档序号:9199295
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本发明公开了一种滚动式倒片方法,包括以下步骤:1.将盛有硅片的出片片架水平放置;2.选择与出片片架尺寸相符的空的受片片架,将空的受片片架反扣在出片片架的上方,使出片片架与受片片架上的定位销与定位孔相互对准,出片片架上的片槽与受片片架上的片槽...
该专利属于扬州晶新微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过扬州晶新微电子有限公司授权不得商用。
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