【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种射频（RF）控制系统，包括：功率放大器，用于将RF信号输出至负载；传感器，用于监控所述RF信号并且基于所述RF信号生成传感器信号；能量检测电路，用于根据所述传感器信号确定所述RF信号的能量；以及功率放大器能量调节电路，用于根据由所述能量检测电路确定的能量生成用于改变所述RF信号的控制信号。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：戴维·J·库莫，理查德·法姆，
申请(专利权)人：MKS仪器公司，
类型：发明
国别省市：
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