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本发明提供一种射频控制系统。RF电源系统用于将RF功率周期性传输至负载。功率放大器将RF信号输出至该负载。传感器测量提供至该负载的RF信号并输出根据该RF信号而改变的信号。第一反馈回路能够基于由传感器的输出确定的功率来控制该RF信号。第二反...
该专利属于MKS仪器公司所有，仅供学习研究参考，未经过MKS仪器公司授权不得商用。

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