具有自校准功能的涡流栅传感器及自校准方法技术

本发明专利技术提供了一种具有自校准功能的涡流栅位移传感器及自校准方法，所述传感器由测量线圈、反射导体、基板和测量电路组成，所述的测量线圈为多个形式，成对布置，每组测量线圈的相位相差测量波长的1/2，由此形成差动信号输出。本发明专利技术只需将传感器拉动一段距离，即可将电子元器件和制造工艺的分散性产生的信号变化进行有效的识别与检测，计算得到各测量线圈的归一化系数。在测量过程中，可以自动对测量结果进行校准和修正。这种自校准方法具有速度快、成本低、互换性好、无需额外的检定装备等特点，可以满足大批量生产的校准要求，并可推广应用于其他传感器之中。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种涡流栅位移传感器，由测量线圈、反射导体、基板和测量电路组成，反射导体均匀分布于基板之上，其间隔周期即为测量波长，测量线圈安置于反射导体上方并保持一距离，该距离尽可能小且同时保证二者不产生接触，测量电路与测量线圈的相对位置保持不变，二者能一同相对于反射导体产生移动；其特征在于，所述的测量线圈为多个形式，成对布置，每组测量线圈的相位相差测量波长的1/2，由此形成差动信号输出。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵辉，刘伟文，吕春峰，姜盈盈，曾新贵，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：