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本发明提供了一种具有自校准功能的涡流栅位移传感器及自校准方法，所述传感器由测量线圈、反射导体、基板和测量电路组成，所述的测量线圈为多个形式，成对布置，每组测量线圈的相位相差测量波长的1/2，由此形成差动信号输出。本发明只需将传感器拉动一段距...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

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