一种激光切割装置制造方法及图纸

技术编号:9179043 阅读:97 留言:0更新日期:2013-09-20 02:50
本实用新型专利技术公开了一种激光切割装置,其特征在于,包括第一激光振荡器,与所述第一激光振荡器产生不同波长激光束的第二激光振荡器,所述第一激光振荡器和所述第二激光振荡器并排放置,所述第一激光振荡器对应位置设有第一反射光片,所述第二激光振荡器对应位置分别设有分光片以及与所述分光片平行放置的第二反射光片,在所述第一反射光片、分光片以及第二反射光片下方一次设有聚焦透镜以及移动工作台。本实用新型专利技术的优点在于,对晶片进行分部加工,在移动工作台的作用下,晶片以台阶的形状进行切割,不易产生凝缩副产物,而且晶片不易发生变形。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种激光切割装置,其特征在于,包括第一激光振荡器,与所述第一激光振荡器产生不同波长激光束的第二激光振荡器,所述第一激光振荡器和所述第二激光振荡器并排放置,所述第一激光振荡器对应位置设有第一反射光片,所述第二激光振荡器对应位置分别设有分光片以及与所述分光片平行放置的第二反射光片,在所述第一反射光片、分光片以及第二反射光片下方一次设有聚焦透镜以及移动工作台。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:成奎栋
申请(专利权)人:伊欧激光科技苏州有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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