叠层薄膜背面钝化的太阳能电池及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种叠层薄膜背面钝化的太阳能电池及其制备方法，叠层薄膜背面钝化的太阳能电池包括P型晶体硅衬底、正面钝化层、正面电极层、氢化非晶硅层、背面电极层、背面电场层以及具有负的固定电荷的金属氧化物层，P型晶体硅衬底具有一正面和一背面，正面钝化层沉积在P型晶体硅衬底的正面上，正面电极层位于正面钝化层的上表面上，氢化非晶硅层沉积在P型晶体硅衬底的背面上，金属氧化物层沉积在氢化非晶硅层的下表面上，背面电极层位于金属氧化物层的下表面上，背面电场层位于背面电极层的下表面上。本发明专利技术能够提高P型晶体硅背面的钝化效果，减少背面缺陷态密度，提高其电池转换效率，而且容易在低温下制备。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种叠层薄膜背面钝化的太阳能电池，其特征在于，它包括：一P型晶体硅衬底（1），其具有一正面和一背面；一正面钝化层（2），沉积在P型晶体硅衬底（1）的正面上；一正面电极层（3），位于正面钝化层（2）的上表面上；一氢化非晶硅层（4），沉积在P型晶体硅衬底（1）的背面上；一具有负的固定电荷的金属氧化物层（5），沉积在氢化非晶硅层（4）的下表面上；一背面电极层（6），位于金属氧化物层（5）的下表面上；一背面电场层（7），位于背面电极层（6）的下表面上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张勇，
申请(专利权)人：常州天合光能有限公司，
类型：发明
国别省市：