一种背钝化机台传输导轨制造技术

技术编号:15268893 阅读:255 留言:0更新日期:2017-05-04 04:56
本实用新型专利技术公开了一种背钝化机台传输导轨,包括间隔设置的多列滚轮组,每列所述滚轮组包括并排间隔设置的多个滚轮,同一列所述滚轮组中相邻两个所述滚轮之间设置有导轨条。该背钝化机台传输导轨,通过增加导轨条,可以配合滚轮实现对石墨框的支撑,进而解决背钝化机台容易卡框的问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及太阳能电池生产
,尤其涉及一种背钝化机台传输导轨
技术介绍
目前,在太阳能电池片大规模生产过程中均采用平板式等离子体化学沉积法,即PECVD制作减反射膜,其中使用最多的PECVD镀膜方式就是用石墨框承载太阳能电池片,从太阳能电池片镀膜设备的一头传输至另一头,从而完成减反射膜的镀膜制作。如图1、2所示,现有技术中,用于PECVD镀膜的背钝化机台的传输导轨包括多个阵列排布的滚轮1,同一列中相邻两个滚轮1之间的距离较大,而因机台自身设计的问题,背钝化机台所使用的石墨框10的宽度较窄,且该石墨框10较常规背钝化机台的石墨框偏小很多,进而该石墨框10重量偏轻;这导致石墨框10在背钝化机台腔体内的传输导轨上传输时,石墨框10的侧部经常是悬空的,因而传输不稳定,一旦受到气体的冲击、滚轮1上有沉积的氮化硅或者是石墨框的石墨导轨条有被划伤等等情况,石墨框10在腔体内容易歪斜,进而极易卡至相邻两个滚轮1之间的镂空处,从而卡框风险较大。
技术实现思路
本技术的目的在于提出一种背钝化机台传输导轨,能够解决背钝化机台容易卡框的问题。为达此目的,本技术采用以下技术方案:一种背钝化机台传输导轨,包括间隔设置的多列滚轮组,每列所述滚轮组包括并排间隔设置的多个滚轮,同一列所述滚轮组中相邻两个所述滚轮之间设置有导轨条。其中,同一列所述滚轮组中相邻两个所述滚轮之间设置有一个所述导轨条,一个所述导轨条设置于两个所述滚轮的中间位置。其中,同一列所述滚轮组中相邻两个所述滚轮之间设置有至少两个所述导轨条,两个所述导轨条间隔设置。其中,两个所述导轨条的侧部与对应侧的所述滚轮之间的距离等于两个所述导轨条之间的距离。其中,所述导轨条的底部连接有导轨支撑结构。其中,所述导轨支撑结构包括支撑杆,所述支撑杆的顶端连接所述导轨条,所述支撑杆的底端连接有垂直于所述支撑杆设置的连接板,所述连接板通过连接螺钉连接于背钝化机台的机台上。其中,所述导轨条的垂直于所述滚轮的传输方向的截面呈U型。其中,所述导轨条的长度为10-30cm。其中,所述导轨条的宽度为4-6cm。本技术的有益效果为:本技术的背钝化机台传输导轨,包括间隔设置的多列滚轮组,每列所述滚轮组包括并排间隔设置的多个滚轮,同一列所述滚轮组中相邻两个所述滚轮之间设置有导轨条;该该背钝化机台传输导轨,通过增加导轨条,可以配合滚轮实现对石墨框的支撑,从而减小了两个滚轮之间的镂空区域的面积,进而在受到气体的冲击、滚轮上有沉积的氮化硅或者是石墨框的石墨导轨条有被划伤等等情况,石墨框在腔体内即便歪斜,也不至于卡至相邻两个滚轮之间的镂空处,从而解决背钝化机台容易卡框的问题。附图说明图1是现有技术中的背钝化机台传输导轨的俯视结构示意图。图2是图1中的背钝化机台传输导轨的侧面结构示意图。图3是本技术的背钝化机台传输导轨的侧视结构示意图。图4是图3中的背钝化机台传输导轨的一种优选方式的俯视结构示意图。图5是图3中的背钝化机台传输导轨的另一种优选方式的俯视结构示意图。图6是图3中的导轨条与石墨框配合时的端面结构示意图。图7是图3中的导轨条的连接结构示意图。图中:10-石墨框;1-滚轮;2-导轨条;3-导轨支撑结构;31-支撑杆;32-连接板;4-连接螺钉。具体实施方式下面结合附图1-7并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。如图3所示,一种背钝化机台传输导轨,包括间隔设置的多列滚轮组,每列所述滚轮组包括并排间隔设置的多个滚轮1,同一列所述滚轮组中相邻两个所述滚轮1之间设置有导轨条2。该背钝化机台传输导轨,通过增加导轨条,可以配合滚轮实现对石墨框10的支撑,从而减小了两个滚轮之间的镂空区域的面积,进而在受到气体的冲击、滚轮上有沉积的氮化硅或者是石墨10的石墨导轨条有被划伤等等情况,石墨框10在腔体内即便歪斜,也不至于卡至相邻两个滚轮之间的镂空处,从而解决背钝化机台容易卡框的问题。如图4所示,作为本技术的一种优选实施方式,同一列所述滚轮组中相邻两个所述滚轮1之间设置有一个所述导轨条2,一个所述导轨条2设置于两个所述滚轮1的中间位置。此时,导轨条2几乎占满该列中相邻两个滚轮1之间的镂空空间。如图5所示,作为本技术的另一种优选实施方式,同一列所述滚轮组中相邻两个所述滚轮1之间设置有至少两个所述导轨条2,两个所述导轨条2间隔设置。优选的,在本实施例中,同一列滚轮组中相邻两个滚轮1之间设置有两个导轨条,两个所述导轨条2的侧部与对应侧的所述滚轮1之间的距离等于两个所述导轨条2之间的距离。此时,两个导轨条几乎占满该列中相邻两个滚轮1之间的镂空空间。如图6所示,所述导轨条2的垂直于所述滚轮1的传输方向的截面呈U型。因此,在传输石墨框10时,可以将石墨框10的导轨条固定在导轨条2的U型槽内,避免卡框。优选的,所述导轨条2的长度为10-30cm,所述导轨条2的宽度为4-6cm。因此,所述导轨条2的长度可以为10cm、12cm、14cm、16cm、18cm、20cm、22cm、24cm、26cm、28cm、30cm,所述导轨条2的宽度可以为4cm、4.1cm、4.2cm、4.3cm、4.4cm、4.5cm、4.6cm、4.7cm、4.8cm、4.9cm、5.0cm、5.1cm、5.2cm、5.3cm、5.4cm、5.5cm、5.6cm、5.7cm、5.8cm、5.9cm、6.0cm。进一步优选的,在本实施例中,所述导轨条2的长度为20cm,所述导轨条2的宽度为5cm。如图7所示,所述导轨条2的底部连接有导轨支撑结构3。其中,所述导轨支撑结构3包括支撑杆31,所述支撑杆31的顶端连接所述导轨条2,所述支撑杆31的底端连接有垂直于所述支撑杆31设置的连接板32,所述连接板32通过连接螺钉4连接于背钝化机台的机台上。本技术的背钝化机台传输导轨,安装了导轨条之后,石墨框10传输时可以在滚轮和导轨条上传输,因而导轨条和滚轮共同实现对石墨框10的支撑,进而避免石墨框10悬空,从而避免了卡框的现象;其适用于滚轮1是,两边双T型、两边双U型或一边是T型一边是U型的情况,适用范围广。以上结合具体实施例描述了本技术的技术原理。这些描述只是为了解释本技术的原理,而不能以任何方式解释为对本技术保护范围的限制。基于此处的解释,本领域的技术人员不需要付出创造性的劳动即可联想到本技术的其它具体实施方式,这些方式都将落入本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...
一种背钝化机台传输导轨

【技术保护点】
一种背钝化机台传输导轨,其特征在于,包括间隔设置的多列滚轮组,每列所述滚轮组包括并排间隔设置的多个滚轮(1),同一列所述滚轮组中相邻两个所述滚轮(1)之间设置有导轨条(2)。

【技术特征摘要】
1.一种背钝化机台传输导轨,其特征在于,包括间隔设置的多列滚轮组,每列所述滚轮组包括并排间隔设置的多个滚轮(1),同一列所述滚轮组中相邻两个所述滚轮(1)之间设置有导轨条(2)。2.根据权利要求1所述的背钝化机台传输导轨,其特征在于,同一列所述滚轮组中相邻两个所述滚轮(1)之间设置有一个所述导轨条(2),一个所述导轨条(2)设置于两个所述滚轮(1)的中间位置。3.根据权利要求1所述的背钝化机台传输导轨,其特征在于,同一列所述滚轮组中相邻两个所述滚轮(1)之间设置有至少两个所述导轨条(2),两个所述导轨条(2)间隔设置。4.根据权利要求3所述的背钝化机台传输导轨,其特征在于,两个所述导轨条(2)的侧部与对应侧的所述滚轮(1)之间的距离等于两个所述导轨条(2)之间的距离。5.根据权利要求1-4任一项...

【专利技术属性】
技术研发人员:袁中存党继东
申请(专利权)人:苏州阿特斯阳光电力科技有限公司盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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