【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种简化的电容式触摸屏制作方法,其特征在于,包括有以下步骤:(1)首玻璃基板进行清洗,去除玻璃基板表面的尘粒、污迹和指纹等;(2)利用真空磁控溅射的方式在玻璃基板两面分别制作第一面ITO薄膜层和第二面ITO薄膜层,形成双面ITO玻璃;具体工艺参数:镀膜真空度:0.01~0.5Pa,温度:220~300℃,ITO薄膜层的厚度10nm~20nm;(3)对第一面ITO薄膜层进行涂胶、曝光、显影、坚膜工艺;然后对第二面ITO薄膜层进行涂胶、曝光、显影、坚膜工艺;具体工艺参数:涂布光刻胶,将ITO薄膜层覆盖,光刻胶的厚度1600~2000nm,均匀性5%以内,预烘温度:80~90℃;对光刻胶进行曝光,即在光刻胶上光刻电极图形,曝光条件为:紫外光波长:365nm,光通量:100~120mj,ITO电极图案的光罩是铬版,距离基板的尺寸100um~200um;对光刻胶显影并硬化,采用NaOH,浓度0.1~0.08MOL/L,温度:20~35℃,时间50秒~120秒,硬化温度:100~120℃,时间30~35分钟;(4)同时对ITO玻璃的两面进行蚀刻和去膜,采用ITO线路作为ITO电极的引线,形成触摸屏 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:邹富伟,周朝平,
申请(专利权)人:晟光科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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