一种非接触式柔性控制器及其制备方法技术

技术编号:9142768 阅读:148 留言:0更新日期:2013-09-12 04:23
一种非接触式柔性控制器,包括:电极阵列,至少包括第一层电极及第二层电极,第一层电极和第二层电极均由若干等间距且相互平行的电极组成,第一层电极和第二层电极相互垂直;介电层,为由若干介电层模块组成的阵列,介电层模块设置于第一层电极与第二层电极交叉位置,介电层模块为透明材质;以及形成于柔性衬底表面的导电层,包括还原氧化石墨烯薄膜层,还原氧化石墨烯薄膜层为由若干还原氧化石墨烯模块阵列,还原氧化石墨烯模块设置于由第一层电极和第二层电极形成的空间内、且与第一层电极及第二层电极均电性连接。另外,本发明专利技术还提供了上述非接触式柔性控制器的制备方法。该柔性控制器灵敏度高。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种非接触式柔性控制器,其特征在于,包括:电极阵列,所述电极阵列至少包括第一层电极及第二层电极,所述第一层电极和所述第二层电极均由若干等间距且相互平行的电极组成,所述第一层电极和所述第二层电极相互垂直;介电层,为由若干介电层模块组成的阵列,所述介电层模块设置于所述第一层电极与所述第二层电极交叉位置,所述介电层模块为透明材质;以及形成于柔性衬底表面的导电层,所述导电层包括还原氧化石墨烯薄膜层,所述还原氧化石墨烯薄膜层为由若干还原氧化石墨烯模块组成的阵列,所述还原氧化石墨烯模块设置于由所述第一层电极和所述第二层电极形成的空间内、且与所述第一层电极及所述第二层电极均电性连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:张珽熊作平王学文
申请(专利权)人:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
类型:发明
国别省市:

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