【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种老化测试设备,其特征在于,包括:至少一个测试板,具有行列形态的能够装载半导体元件的插座,并具有用于向插座施加测试信号的传送线路组;板收容腔室,用于收容所述至少一个测试板;至少一个测试基板,与收容于所述板收容腔室的至少一个测试板电连接,产生用于测试装载于所述至少一个测试板的半导体元件的测试信号;以及基板收容腔室,用于收容所述至少一个测试基板,所述至少一个测试板的电路中的传送线路组中的每一个上,所述插座中的至少两个插座被布置在一起,且具有飞跃式结构,所述测试基板包括:测试单元,选择需要测试的半导体元件而产生测试信号,并读取从开始工作的半导体元件反馈的结果信号;以及闪控信号提供单元,向所述测试单元提供闪控信号,以使所述测试单元从结果信号能够抽样准确的数据。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:李义元,崔永培,
申请(专利权)人:韩商联测股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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