【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种夹爪机构,包括机架(1)、左爪部(2)和右爪部(3),其特征在于:所述左爪部(2)具有左爪座(4),该左爪座(4)上固定左爪(5),所述左爪座(4)与机架(1)沿X轴滑动连接,左爪座(4)上设有左爪滑块(6);所述右爪部(3)具有右爪座(7),该右爪座(7)上固定右爪(8),所述右爪座(7)与机架(1)沿X轴滑动连接,右爪座(7)上设有右爪滑块(9);还包括一直线驱动装置(10)和一推动滑块(11),所述推动滑块(11)与机架(1)沿Y轴滑动连接;所述推动滑块(11)上开设有左滑轨(12)和右滑轨(13),该左滑轨(12)和右滑轨(13)的X轴向间距沿Y轴方向逐渐增大,所述左爪滑块(6)嵌入左滑轨(12)中滑动且滚动连接,右爪滑块(9)嵌入右滑轨(13)中滑动且滚动连接;所述直线驱动装置(10)驱动端连接推动滑块(11),以驱动该推动滑块(11)沿Y轴滑动;所述左爪部(2)设有左限位部(14),以对左爪部(2)相对于机架(1)和推动滑块(11)的沿Z轴移动进行限位,所述右爪部(3)设有右限位部(15),以对右爪部(3)相对于机架(1)和推动滑块(11)的沿Z轴移动进行限位。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:陈华轩,陈守亮,杨定伟,刘庆威,
申请(专利权)人:苏州凯蒂亚半导体制造设备有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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