滤网板及应用该滤网板来降低腔室内污染物的真空设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种滤网板及应用该滤网板来降低腔室内污染物的真空设备，所述滤网板由耐高温且绝缘的材料制成，其上表面为光滑面，下表面为粗糙面，所述滤网板上还设有多个通透的滤网孔。所述滤网孔的孔径由上至下减缩，成漏斗状，使所述滤网孔具有上表面与下表面，所述滤网孔的上表面也为光滑面，所述滤网孔的下表面也为粗糙面。所述真空设备具有真空腔室，真空腔室内设有所述滤网板。本实用新型专利技术的光滑面使污染物及副产物容易滑落，而粗糙面可以使污染物及副产物很牢固的吸附在上面。这样真空腔室内的悬浮污染物会大大减少，并且在设备保养时只需清洁滤网，这样也减少了对设备保养的复杂程度。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种滤网板，其特征在于：所述滤网板由耐高温且绝缘的材料制成，其上表面为光滑面，下表面为粗糙面，所述滤网板上还设有多个通透的滤网孔。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵景训，邱勇，黄秀颀，王宝友，刘祥超，
申请(专利权)人：昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司，
类型：实用新型
国别省市：