【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种激光器放电腔的六自由度调节机构，包括两个调节器，该两个调节器分别安装于激光器放电腔的底面上沿光轴方向的前后两端，且每个调节器包括一个万向轮装置和两个升降装置；所述激光器放电腔的安装平面为XY平面，该XY平面的X轴方向为激光器放电腔的光轴方向，该XY平面的Y轴方向为垂直于X轴的方向，所述Z轴方向是垂直于该安装平面的方向；所述两个调节器的万向轮装置共同调节所述激光器放电腔在XY平面内的平移和在Z轴的转动；所述两个调节器的升降装置共同调节所述激光器放电腔在Z轴方向的高度和绕所述XY平面的X、Y轴的转动。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：丁金滨，李少华，刘斌，沙鹏飞，周翊，王宇，赵江山，
申请(专利权)人：中国科学院光电研究院，
类型：发明
国别省市：
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