下载激光器放电腔的六自由度调节机构的技术资料

文档序号:9087706

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本发明公开了一种激光器放电腔的六自由度调节机构,包括两个调节器,该两个调节器分别安装于激光器放电腔的底面上沿光轴方向的前后两端,且每个调节器包括一个万向轮装置和两个升降装置;激光器放电腔的安装平面为XY平面,该XY平面的X轴方向为激光器放电...
该专利属于中国科学院光电研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院光电研究院授权不得商用。

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