用于激光器放电腔的电磁力密封窗装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于激光器放电腔的电磁力密封窗装置，其具有出光窗片，所述激光器放电腔产生的激光经由该出光窗片向外界出射，其特征在于，所述电磁力密封窗装置由腔体密封端(201)、电磁密封段(202)和窗片密封端(203)构成，所述腔体密封端(201)、电磁密封段(202)和窗片密封端(203)依次连接而构成一个筒体，所述电磁密封段(202)用于通过电磁力来控制其本身的隔断与连通。本发明专利技术在拆换出光窗片时可以保证有毒的工作气体不会泄漏，同时保证不会有空气进入钝化好的放电腔内，从而提高工作效率，节约气体成本。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于激光器放电腔的电磁力密封窗装置，具有出光窗片，所述激光器放电腔产生的激光经由该出光窗片向外界出射，其特征在于，所述电磁力密封窗装置由腔体密封端(201)、电磁密封段(202)和窗片密封端(203)构成，所述腔体密封端(201)、电磁密封段(202)和窗片密封端(203)依次连接而构成一个筒体，所述电磁密封段(202)用于通过电磁力来控制其本身的隔断与连通。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘斌，丁金滨，王魁波，沙鹏飞，周翊，王宇，赵江山，
申请(专利权)人：中国科学院光电研究院，
类型：发明
国别省市：