下载用于激光器放电腔的电磁力密封窗装置的技术资料

文档序号:9061878

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本发明公开了一种用于激光器放电腔的电磁力密封窗装置,其具有出光窗片,所述激光器放电腔产生的激光经由该出光窗片向外界出射,其特征在于,所述电磁力密封窗装置由腔体密封端(201)、电磁密封段(202)和窗片密封端(203)构成,所述腔体密封端(...
该专利属于中国科学院光电研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院光电研究院授权不得商用。

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