一种太阳能电池复合结构光阳极材料及制备方法技术

技术编号:9087522 阅读:149 留言:0更新日期:2013-08-29 00:06
本发明专利技术涉及一种太阳能电池复合结构光阳极材料及制备方法,其结构包括玻璃基底、在玻璃基底上的Al掺杂ZnO透明导电薄层、在此导电薄膜基础上ZnO纳米线阵列,以及在ZnO纳米线阵列表面均匀沉积的TiO2纳米薄膜,上述结构可简化为AZO透明导电薄玻璃、以及在导电薄膜基础上形成的TiO2/ZnO核壳结构纳米线阵列。利用AZO代替ITO或者FTO,制备ZnO阵列的时候减少了制备ZnO种子层的过程,简化了制备流程;ALD技术的利用,一方面使得高性能的AZO透明导电薄膜可以很容易的获得,另一方面制备TiO2/ZnO核壳结构过程中,可以确保TiO2在全表面均匀覆盖。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种太阳能电池复合结构光阳极材料,其特征在于,其结构包括玻璃基底、在玻璃基底上的Al掺杂ZnO透明导电薄层、在此导电薄膜基础上ZnO纳米线阵列,以及在ZnO纳米线阵列表面均匀沉积的TiO2纳米薄膜,上述结构可简化为AZO透明导电薄玻璃、以及在导电薄膜基础上形成的TiO2/ZnO核壳结构纳米线阵列。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:尹桂林葛美英何丹农
申请(专利权)人:上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司
类型:发明
国别省市:

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