一种碳纳米管电离自共振型气敏传感器制造技术

技术编号:9086490 阅读:286 留言:0更新日期:2013-08-28 23:07
一种碳纳米管电离自共振型气敏传感器,包括纳米碳管电极、铝板电极和绝缘薄膜,所述纳米碳管电极上覆盖所述绝缘薄膜,所述绝缘薄膜上设有用于对应不同气体的极性分布的一列凹槽,所述绝缘薄膜上覆盖铝板电极;所述纳米碳管电极和铝板电极之间连接偏置电压产生装置,所述气敏传感器还包括用以产生多种随机共振的强度的噪声的噪声发生装置和用以在诱发多重随机共振后实时记录电压-电流检测数据,并对检测数据进行模式识别分类实现气体种类检测的气体识别模块。本发明专利技术响应速度快、检测气体种类多、可重复性高、不易受温度气压等环境因素影响、适合现场使用。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种碳纳米管电离自共振型气敏传感器,其特征在于:所述气敏传感器包括纳米碳管电极、铝板电极和绝缘薄膜,所述纳米碳管电极上覆盖所述绝缘薄膜,所述绝缘薄膜上设有用于对应不同气体的极性分布的一列凹槽,所述绝缘薄膜上覆盖铝板电极;所述纳米碳管电极和铝板电极之间连接偏置电压产生装置,所述气敏传感器还包括用以产生多种随机共振的强度的噪声的噪声发生装置和用以在诱发多重随机共振后实时记录电压?电流检测数据,柄对检测数据进行模式识别分类实现气体种类检测的气体识别模块。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:惠国华王敏敏黄洁尹芳缘王绿野
申请(专利权)人:浙江工商大学
类型:发明
国别省市:

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