SEM/TEM样品的定位方法技术

本发明专利技术公开了一种SEM/TEM样品的定位方法，包括：第一次激光定位SEM/TEM样品；在SEM/TEM样品表面填涂油性材料；第二次激光定位SEM/TEM样品。本发明专利技术对于某些需填涂油性材料作为保护层且需定点制样的SEM/TEM样品，先在目标位置附近进行第一次激光定位，然后再在目标位置上填涂油性材料，最后再在原有的标记上用激光进行第二次激光定位，不仅可以保护SEM/TEM样品不受沾污，还可以在SEM/FIB中迅速找到所需制样的目标位置，大大提高了制备SEM/TEM样品的效率和质量。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种SEM/TEM样品的定位方法，其特征在于，包括：第一次激光定位SEM/TEM样品；在SEM/TEM样品表面填涂油性材料；第二次激光定位SEM/TEM样品。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：孙蓓瑶，王炯翀，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：