一种全氮化物耐候性光热涂层及其制备方法技术

本发明专利技术涉及全氮化物耐候性光热涂层及其制备方法，以铜、铝或铁素体不锈钢作为基材，依次包括第一吸收亚层、第二吸收亚层、氮化硅减反层，先通氩气和氮气以铜、铝或铁素体不锈钢作为基材，以TiAl为靶材直流溅射，再使基材位于TiAl靶材和Si靶材两靶材之间共溅射，再使基材正对Si靶材溅射。本发明专利技术所制备吸收层，有两个吸收亚层组成，相对于传统膜系中的多层（≥3）梯度结构生产工艺更为简便，且为无氧涂层体系，耐候性好，适合在国内太阳能光热产业现有的真空镀膜设备上推广，可用于制备平板太阳能集热板芯，应用前景良好。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种全氮化物耐候性光热涂层，其特征是，以铜、铝或铁素体不锈钢作为基材，依次包括第一吸收亚层、第二吸收亚层、氮化硅减反层，第一吸收亚层沉积30?150nm，第二吸收亚层沉积30?150nm，第二吸收亚层中的金属含量低于第一吸收亚层，氮化硅减反层沉积厚度为20?60nm。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：欧阳俊，冯君校，卢郁，王现洋，
申请(专利权)人：欧阳俊，
类型：发明
国别省市：