恒温恒湿提拉涂膜机制造技术

技术编号:9041630 阅读:241 留言:0更新日期:2013-08-15 06:02
本实用新型专利技术公开了一种恒温恒湿提拉涂膜机,包括底座、涂膜室、传动装置、温湿感应装置和电机,涂膜室内置有用于夹持涂膜衬底工件的夹具,夹具上设有提拉绳,提拉绳缠绕于电机主动轴上用于同步带动夹具做升降运动,涂膜室下部设有加热槽,加热槽与设于底座上的可控制待涂膜的溶胶-凝胶溶液温度和搅拌速度的加热搅拌装置相连,涂膜室中部设有温湿探测器,涂膜室后部设有可通入所需气体的进气孔和可排出多余气体的排气孔,进气孔与实验所需气体的气瓶之间通过减压阀等可控装置相接。本实用新型专利技术的优点在于,在成膜过程中,其周围气氛类型、温度和湿度以及涂膜溶液温度可控,提拉速度平稳并连续可调,易于操作,能更精确有效的保证薄膜质量和成膜品质整齐划一。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种工件成膜装置,具体涉及一种用于实验室的恒温恒湿提涂膜机。
技术介绍
近年来,随着太阳能光伏产业的兴起,实验室对半导体以及导电薄膜研究加速。采用浸溃拉膜技术在玻璃、柔性基底等衬底上成膜以改变衬底的性能,并赋予高效光电转换效率的功能,已在实验室获得广泛的应用。随着对薄膜研究的深入,对薄膜的性能、制备工艺和操作可重复性的要求提高,对涂膜溶液温度恒定和成膜过程中其周围气氛性质,温度湿度等需要精确控制,因而对拉膜机性能要求很高。目前已有的拉膜机由于设计和结构的原因,提拉过程中常常由于与导轨摩擦出现抖动,造成薄膜厚薄不均,很难准确控制成膜厚度,同时由于溶胶凝胶液体温差,拉膜时周围气氛性质、温度和湿度的不固定,对于精密器件上成膜,很难精确保证每次拉出的薄膜的重复性和性能的稳定性。现阶段国内尚没有适用于实验室的立式恒温恒湿提拉涂膜机。在实际应用中,不少单位和个人提出了一些与此相关的技术方案。如中国科学院广州能源研究所此前曾公开了一种立式提拉涂膜 机,其技术方案包括立式机座、电机、传动装置和一个工作平台,特征在于所说的立式机座上设有一根带有丝杠螺母的垂直的丝杠,在丝杠的左右两端设有滑轨本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种恒温恒湿提拉涂膜机,包括底座、涂膜室、传动装置、温湿感应装置和电机,其特征在于:所述涂膜室内置有用于夹持涂膜衬底工件的夹具,所述夹具上设有提拉绳,所述提拉绳缠绕于电机主动轴上用于同步带动夹具做升降运动,所述涂膜室下部设有加热槽,所述加热槽与设于底座上的可控制待涂膜的溶胶?凝胶溶液温度和搅拌速度的加热搅拌装置相连,所述涂膜室中部设有温湿探测器与涂膜室外的温湿度显示器电性连接,所述涂膜室后部设有可通入实验所需气体的进气孔,所述涂膜室侧部设有可排出多余气体的排气孔,所述进气孔与实验所需气体的气瓶之间通过管道相接,所述管道上装有用于控制进气孔通入气流大小的调节装置。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:赵晋津汪文娜唐润钊赵玉超
申请(专利权)人:石家庄铁道大学
类型:实用新型
国别省市:

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