臭氧产生元件及其制造方法技术

本发明专利技术公开一种能够抑制因保护层的劣化引起的臭氧的产生量的下降的臭氧产生元件及其制造方法。层叠体(12)将电介质层(18a～18e)层叠而构成。放电电极(14)设置在电介质层(18a)上。感应电极(16)通过设置在电介质层(18b)上而隔着电介质层(18a)与放电电极(14)对置。保护层(20)以覆盖放电电极(14)的方式设置在电介质层(18a)上，且由玻璃陶瓷构成。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及，更确切而言，涉及通过放电而由氧生成臭氧的。
技术介绍
作为以往的臭氧产生元件，已知有例如专利文献I记载的臭氧产生元件。该臭氧产生元件的放电电极和感应电极隔着电介质基板而对置(对向ts)。放电电极及感应电极分别通过由玻璃构成的保护膜覆盖。在如以上那样构成的臭氧产生元件中，通过对放电电极与感应电极之间施加交流高电压，而在放电电极的周围产生放电。由此，通过放电电极的周围的氧来生成臭氧。然而，在专利文献I记载的臭氧产生元件中，在放电时，放电电极的温度上升。由于玻璃仅具有比较低的耐热性，因此由玻璃构成的保护膜因放电电极的温度的上升而劣化。其结果是，在专利文献I记载的臭氧产生元件中，放电电极发生炭化，臭氧的产生量下降。在先 技术文献专利文献专利文献I日本特开2009-29647号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题因此，本专利技术的目的在于提供一种能够抑制保护层的劣化引起的臭氧的产生量的下降的。用于解决课题的手段本专利技术的一方式的臭氧产生元件的特征在于，具备:电介质层；设置在所述电介质层上的放电电极；隔着所述电介质层而与所述放电电极对置的感应电极；以及以覆盖所述放电电极的方式设置在所述电介质层上，且由玻璃陶瓷构成的保护层。所述臭氧产生元件的制造方法的特征在于，同时烧成所述电介质层和所述保护层。专利技术效果根据本专利技术，能够抑制保护层的劣化引起的臭氧的产生量的下降。附图说明图1是臭氧产生元件的分解立体图。图2是比较例的臭氧产生元件的分解立体图。图3是表示第一实验的结果的曲线图(々''9 7 )。图4是表示第三实验的结果的曲线图。符号说明10臭氧产生元件12层叠体14 放电电极14a、16a 对置部14b、16b 连接部16感应(誘導)电极18a 18e 电介质层20保护层24a、24b 外部电极具体实施方式以下，说明本专利技术的实施方式的。(臭氧产生元件的结构)以下，参照附图，说明一实施方式的臭氧产生元件的结构。图1是臭氧产生元件10的分解立体图。在图1中，将层叠方向定义为z轴方向，在从z轴方向俯视观察时，将臭氧产生元件10的长边延伸的方向定义为X轴方向，将臭氧产生元件10的短边延伸的方向定义为I轴方向。臭氧产生元件10使用在 具有除臭功能、杀菌功能的空气调节器或空气清洁器等中。如图1所示，臭氧产生元件10具备层叠体12、放电电极14、感应电极16、保护层20、夕卜部电极24a、24b及通孔导体vl v7。层叠体12是由玻璃陶瓷构成的长方形形状的基板，具体而言是LTCC基板。LTCC基板的材料的一例是由CaO-Al2O3-SiO2-B2O3玻璃与Al2O3填料的混合物构成的玻璃陶瓷。通过将呈长方形形状的电介质层18(18a 18e)以从z轴方向的正方向侧向负方向侧依次排列的方式层叠而构成层叠体12。电介质层18的厚度例如为50 μ m以上且250 μ m以下。在本实施方式中，电介质层18的厚度为130 μ m。放电电极14设置在电介质层18a的表面上，是包含银、铜、钯(^ 氧化钌(酸化&等导体材料的线状的导体层。如图1所示，放电电极14包括对置部14a及连接部14b。对置部14a呈现出具有朝向X轴方向的负方向侧突出的半周量的长度的圆弧的形状。连接部14b与对置部14a的y轴方向的正方向侧的端部连接，呈L字型。SP，连接部14b从对置部14a的y轴方向的正方向侧的端部朝向x轴方向的正方向侧延伸，而且，朝向y轴方向的负方向侧折弯。连接部14b中的与对置部14a连接的端部的相反侧的端部ta位于电介质层18a的对角线的交点附近。而且，放电电极14的厚度例如为5μπι以上且20 μ m以下。在本实施方式中，放电电极14的厚度为10 μ m。感应电极16设置在电介质层18b的表面上，是包含银、铜、钯、氧化钌等导体材料的线状的导体层。如图1所示，感应电极16包括对置部16a及连接部16b。对置部16a呈现出具有朝向X轴方向的负方向侧突出的半周量的长度的圆弧的形状。感应电极16的对置部16a隔着电介质层18a而与放电电极14的对置部14a对置。而且，对置部16a的线宽比对置部14a的线宽粗。由此，对置部16a在从z轴方向俯视观察时，包含对置部14a。连接部16b与对置部16a的Y轴方向的负方向侧的端部连接，并从该端部朝向X轴方向的正方向侧延伸。连接部16b中的与对置部16a连接的端部的相反侧的端部tb在电介质层18b的X轴方向的正方向侧位于y轴方向的负方向侧的角附近。而且，感应电极16的厚度例如为5μπι以上且20μπι以下。在本实施方式中，感应电极16的厚度为10 μ m。外部电极24a设置在电介质层18d的背面上，呈椭圆形状。外部电极24a位于电介质层18d的对角线的交点附近。由此，外部电极24a在从z轴方向俯视观察时，与连接部14b的端部ta重叠。外部电极24a是包含银、铜、钯、氧化钌等导体材料的导体层。而且，为了防锈而对外部电极24a的表面实施由氧化钌构成的高电阻膏剂。另外，为了防锈而可以使用镀镍及镀锡等的镀敷，但在镀敷时可能会导致臭氧的产生量的下降，因此优选电阻膏剂。外部电极24b设置在电介质层18d的背面上，呈椭圆形状。外部电极24b在电介质层18d的X轴方向的正方向侧位于y轴方向的负方向侧的角附近。由此，外部电极24b在从z轴方向俯视观察时，与连接部16b的端部tb重叠。外部电极24b是包含银、铜、钯、氧化钌等导体材料的导体层。而且，为了防锈而对外部电极24b的表面实施镀镍及镀锡。在电介质层18e上设置开口 01、02。开口 01、02在从z轴方向俯视观察时，分别与外部电极24a、24b重叠。由此，外部电极24a、24b从层叠体12的z轴方向的负方向侧的主面向外部露出。通孔导体vl v4分别沿着z轴方向贯通电介质层18a 18d,通过相互连接而构成I根通孔导体。通孔导体vl v4将连接部14b的端部ta和外部电极24a连接。由此，放电电极14与外部电极24a连接。通过向设置在电介质层18a 18d上的通孔填充银、铜、钯、氧化钌等导体材料来制作通孔导体vl v4。通孔导体v5 v7分别沿着z轴方向贯通电介质层18b 18d,通过相互连接而构成I根通孔导体。通孔导体v5 v7将连接部16b的端部tb和外部电极24b连接。由此，感应电极16与外部电极24b连接。通过向设置在电介质层18b 18d上的通孔填充银、铜、钯、氧化钌等导体材料来制作通孔导体v5 v7。保护层20是以将放电电极14整体覆盖的方式设置在电介质层18a上的由玻璃陶瓷构成的层，起到防止放电电极14发生炭化或从层叠体12剥离的作用。保护层20呈现出与电介质层18相同的长方形形状，层叠在电介质层18a的z轴方向的正方向侧。而且，保护层20通过与电介质层 18相同的材料构成，例如通过由CaO-Al2O3-SiO2-B2O3玻璃与Al2O3填料的混合物形成的玻璃陶瓷构成。保护层20的厚度优选为30 μ m以上且150 μ m以下。在如以上那样构成的臭氧产生元件10中，对外部电极24a、24b之间施加交流高电压。作为该交流高电压，列举有例如频率为40kHz 70kHz且峰到峰(一々〃一一夕)为6kV 7kV的交流电压。当将交流高电压向外部电极24a、本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种臭氧产生元件，其特征在于，具备：电介质层；设置在所述电介质层上的放电电极；隔着所述电介质层而与所述放电电极对置的感应电极；以及以覆盖所述放电电极的方式设置在所述电介质层上，且由玻璃陶瓷构成的保护层。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：金森哲雄，八木幸弘，高田隆裕，宫本利之，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：