【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种真空退火炉。
技术介绍
目前市售的真空退火炉大都使用石墨电极或金属带作为加热器，由于石墨电极存在挥发物，容易对工件造成二次污染；而金属带的成本教高，使用寿命短。
技术实现思路
本技术目的在于提供一种避免二次污染，降低使用成本，同时延长使用寿命的真空退火炉。为实现上述目的，本技术可采取下述技术方案:本技术所述的真空退火炉，包括炉体，和设置在所述炉体内的退火腔；在所述退火腔内设置有二硅化钥加热器。所述二硅化钥加热器为设置在所述退火腔内两侧分别对称间隔设置的多个U形二硅化钥加热元件。本技术优点在于将真空炉加热元件改进为二硅化钥加热器，很好的解决了二次污染的问题，同时降低了使用成本，延长了使用寿命。附图说明图1是本技术 的结构示意图。图2是图1的立体图。具体实施方式如图1、2所示，本技术所述的真空退火炉，包括炉体1，和设置在所述炉体I内的退火腔；在所述退火腔内设置有二硅化钥加热器了 ；所述二硅化钥加热器为设置在所述退火腔内两侧分别对称间隔设置的多个U形二硅化钥加热元件2。权利要求1.一种真空退火炉，包括炉体(1)，和设置在所述炉体(I)内的退火腔；其特征在于:...
【技术保护点】
一种真空退火炉，包括炉体（1），和设置在所述炉体（1）内的退火腔；其特征在于：在所述退火腔内设置有二硅化钼加热器。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈玉库，王瑞亭，
申请(专利权)人：郑州世博有色金属制品有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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