下载真空退火炉的技术资料

文档序号:9018246

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本实用新型公开了一种真空退火炉,包括炉体,和设置在所述炉体内的退火腔;在所述退火腔内设置有二硅化钼加热器。所述二硅化钼加热器为设置在所述退火腔内两侧分别对称间隔设置的多个U形二硅化钼加热元件。本实用新型优点在于将真空炉加热元件改进为二硅化钼...
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