输送电子元件用升降装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种输送电子元件用升降装置，其特征在于，包括机架、驱动件以及传动件，所述驱动件与盛放电子元件的容器通过传动件连接，所述驱动件通过所述传动件驱动所述容器升降运动。本实用新型专利技术输送电子元件用升降装置通过自动控制花篮的升降，从而节省人力、并且防止花篮摔落而损坏晶圆的输送电子元件用升降装置。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种输送电子元件用升降装置。
技术介绍
晶圆在生产加工过程中，具有多道不同的加工工序。由于晶圆厚度薄等特殊性质，将晶圆从一道工序运送到另一道工序时，需要使用专门运送装置来运送晶圆。目前运送晶圆的方法是先将晶圆放在花篮内，然后利用输送电子元件用升降装置夹持花篮后运送。目前的输送电子元件用升降装置在工作时，需要抬起花篮以将花篮挂在输送电子元件用升降装置上，运送到指定位置后，需要抬起花篮将其取下。然而，在实际产生中，是将大批晶圆放在花篮内然后再运送，导致把花篮挂在或取下现有的输送电子元件用升降装置时需要耗费巨大的人力，并且浪费工时，降低晶圆的运输速度；并且，一旦花篮摔落将会损坏晶圆。
技术实现思路
本技术的目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种自动升降花篮，从而节省人力、并且防止花篮摔落而损坏晶圆的输送电子元件用升降装置。为实现以上目的，本技术通过以下技术方案实现:输送电子元件用升降装置，其特征在于，包括机架、驱动件以及传动件，所述驱动件与盛放电子元件的容器通过传动件连接，所述驱动件通过所述传动件驱动所述容器升降运动。优选地是，所述驱动件为电机，所述 电机的转轴与所述传动件连接。优选地是，所述传动件包括丝杠，所述丝杠包括丝杆和螺母，所述丝杆与所述电机的转轴连接，所述螺母固定在所述容器上。优选地是,所述传动件包括同步带和带轮,所述电机带动所述同步带在所述带轮上转动，所述容器固定在所述同步带上。优选地是，包括直线电机，所述直线电机的输出轴与所述容器连接并驱动所述容器升降运动。优选地是，还包括定位传感组件，所述定位传感组件安装在机架上用于检测所述容器的位置。本技术输送电子元件用升降装置通过自动控制花篮的升降，从而节省人力、并且防止花篮摔落而损坏晶圆的输送电子元件用升降装置。附图说明图1为本技术输送电子元件用升降装置的实施例1的主视图。图2为图1所示输送电子元件用升降装置的俯视图。图3为图1所示输送电子元件用升降装置的侧视图。具体实施方式实施例1:以下结合附图对本技术进行详细的描述:如图1至图3所示:输送电子元件用升降装置，包括机架1、夹持件2、传送装置3以及两块定位传感组件4。传送装置3和定位传感组件4均安装在机架I上。定位传感组件4安装在传送装置3左侧或右侧。两块定位传感组件4相隔一定距离地竖向设置在机架I上。夹持件2连接在传送装置3的下端。传送装置3带动夹持件2上下运动。夹持件2用于夹持装有晶圆6的容器5。传送装置3包括驱动件31和传动件32。驱动件31与传动件32连接。传动件32与夹持件2连接。驱动件31包括伺服电机。传动件32为丝杠，丝杠包括丝杆321和螺母322。螺母322固定在夹持件2且套设在丝杆321上。丝杆321连接在伺服电机的转轴上，可在伺服电机驱动下转动，丝杆321转动带动螺母322上下运动。容器2包括两块夹板(21、22)。夹板下端具有向内弯折的卡持部。卡持部与容器5上的卡接部位配合夹持住容器5。本技术输送电子元件用升降装置的工作原理详述如下:工作时，容器2抓持住容器5后，启动伺服电机。伺服电机驱动丝杆321转动。丝杆321转动从而带动套设在其上的螺母322向上运动。螺母322驱动容器2向上运动，从而将容器5提升。传动件32向上运动时，一旦超过设定位置，位于上方的定位传感组件4就发出停止信号，使伺服电机停止运行，从而停止容器5上移。然后进行运输。卸载时，启动伺服电机并使其反转，即与容器2向上运动时的转向相反。伺服电机驱动丝杆321转动。丝杆321转动从而带动套设在其上的螺母322向下运动。螺母322驱动容器2向下运动。传动件32向下运动时，一旦超过设定位置，位于下方的定位传感组件4就发出停止信号，使伺服电机停止运行，从而停止容器5下移。然后卸下容器5。实施例2:本实施例与实施例1不同的是，本实施例中的传动件包括同步带和带轮。伺服电机带动同步带在带轮上转动。夹持装置固定在同步带上并在同步带的带动下上下运动。实施例3:本实施例与实施例1和实施例2不同的是:传送装置可以用直线电机取代。本技术中的实施例仅用于对本技术进行说明，并不构成对权利要求范围的限制，本领域内技术人员可以想到的其他实质上等同的替代，均在本技术保护范围内。权利要求1.输送电子元件用升降装置，其特征在于，包括机架、驱动件以及传动件，所述驱动件与盛放电子元件的容器通过传动件连接，所述驱动件通过所述传动件驱动所述容器升降运动。2.根据权利要求1所述的输送电子元件用升降装置，其特征在于，所述驱动件为电机，所述电机的转轴与所述传动件连接。3.根据权利要求2所述的输送电子元件用升降装置，其特征在于，所述传动件包括丝杠，所述丝杠包括丝杆和螺母，所述丝杆与所述电机的转轴连接，所述螺母固定在所述容器上。4.根据权利要求2所述的输送电子元件用升降装置，其特征在于，所述传动件包括同步带和带轮，所述电机带动所述同步带在所述带轮上转动，所述容器固定在所述同步带上。5.根据权利要求1所述的输送电子元件用升降装置，其特征在于，包括直线电机，所述直线电机的输出轴与所述容器连接并驱动所述容器升降运动。6.根据权利要求1所述的输送电子元件用升降装置，其特征在于，还包括定位传感组件，所述定位传感组件安装 在机架上用于检测所述容器的位置。专利摘要本技术公开了一种输送电子元件用升降装置，其特征在于，包括机架、驱动件以及传动件，所述驱动件与盛放电子元件的容器通过传动件连接，所述驱动件通过所述传动件驱动所述容器升降运动。本技术输送电子元件用升降装置通过自动控制花篮的升降，从而节省人力、并且防止花篮摔落而损坏晶圆的输送电子元件用升降装置。文档编号B66F9/00GK203112420SQ201220750118公开日2013年8月7日 申请日期2012年12月31日 优先权日2012年12月31日专利技术者王振荣, 陈概礼, 黄春杰 申请人:上海新阳半导体材料股份有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
输送电子元件用升降装置，其特征在于，包括机架、驱动件以及传动件，所述驱动件与盛放电子元件的容器通过传动件连接，所述驱动件通过所述传动件驱动所述容器升降运动。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王振荣，陈概礼，黄春杰，
申请(专利权)人：上海新阳半导体材料股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：