基于板条结构的大功率355nm紫外激光器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种基于板条结构的大功率355nm紫外激光器，其特征在于，包括：半导体激光泵浦模块、透镜组、板条薄片状的激光晶体、激光谐振腔、调制器件、谐波非线性晶体组以及使紫外激光与其他光线分离的三棱镜；前述激光谐振腔由腔镜组成，激光在激光器中形成“M”字型光路。本实用新型专利技术的有益之处在于：通过设计合理的“M”字型光路以及适当选择柱面镜的曲率半径，可减轻甚至消除一阶热聚焦、应力双折射和退偏效应，从而利用简单的板条激光结构获得更好的光束质量和更高的输出功率；在不改变激光器内部结构的情况下，在激光晶体破坏值范围内，可通过提高半导体激光泵浦模块的泵浦功率，进一步增加腔内基频激光的功率密度。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种全固态激光器，具体涉及一种基于板条结构的大功率355nm紫外激光器。
技术介绍
激光二极管泵浦的全固态激光器因具有转换效率高、稳定性好、结构紧凑、使用寿命长等优点使其成为当今固态激光技术研究的热点之一，其中板条激光器由于泵浦效率高、散热效率好而受到广泛重视。采用棒状工作介质的高功率固体激光器在长时间运转时，工作介质的径向温度梯度使棒呈现出热透镜效应和双折射效应，进而严重降低了光束质量，限制了激光器的输出水平和高重复率运转。对于板条结构的固体激光器，可以通过设计合理的“M”字形光路，减轻甚至消除一阶热聚焦、应力双折射和退偏效应，从而获得更好的光束质量和更高的输出功率。早在20世纪70年代美国GE公司的W.B.Martin等就提出了板条激光器设计的概念，使得板条晶体内部温度场的分布趋于均匀，极大降低了晶体本身的热效益。但该方案存在结构设计复杂、吸收长度短、抽运效率低等缺点，限制了其进一步的发展。紫外激光器在很多实际运用中都有非常广泛的应用，利用紫外激光器加工材料过程称为“光蚀”效应，高能量的光子直接破坏材料的化学键，属于“冷”处理过程，热影响区域微乎其微。相比之下，可本文档来自技高网...

【技术保护点】
基于板条结构的大功率355nm紫外激光器，其特征在于，包括：激光晶体（4），分居上述激光晶体（4）两侧的半导体激光泵浦模块（1、7），设置于上述激光晶体（4）与半导体激光泵浦模块（1、7）之间的透镜组，将上述半导体激光泵浦模块（1、7）发射出的泵浦光转换成高光束质量的基频激光的激光谐振腔，对上述基频激光进行调制的调制器件（9），对上述基频激光进行频率变换的谐波非线性晶体组以及使紫外激光与其他光线相分离而得到紫外激光输出的三棱镜（19）；上述激光晶体（4）为板条形状的薄片，泵浦光的通光方向在薄片之内，激光晶体（4）的“C”轴竖直向上放置或者旋转90°水平放置；上述激光谐振腔由腔镜（3、5、8、1...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：孔剑，边莎莎，
申请(专利权)人：苏州镭创光电技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：