氢氯化反应加热器及其相关方法技术

本发明专利技术的系统和方法涉及通过经由反应物流调节系统和部件为原料流提供适宜的反应条件的氢氯化反应。该调节系统有助于四氯化硅在气态的氢气中汽化以产生含有用四氯化硅饱和的氢气的反应物流。通过使用低于约15bar的饱和蒸汽而无需使用过热蒸汽或热油就可以实现饱和。可以将饱和的反应物流进一步加热到实现转化为三氯硅烷的反应条件。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及生产三氯硅烷的系统和方法，具体地，涉及利用汽化技术降低三氯硅烷反应系统的能耗并提高其有效性的系统和方法。
技术介绍
在美国专利号4，340, 574中，Coleman公开了一种从分离塔中利用再循环来生产超高纯度硅烷的方法。在美国专利号4，676，967中，Breneman公开了一种生产高纯度硅烷和硅的方法。在美国专利号5，118，486中，Burgie等人公开了通过使副产物流雾化(atomization)成为微粒状娃和娃烧来进行分离。在美国专利号6，060, 021中，Oda公开了一种在作为密封气体的氢气下储存三氯硅烷和四氯化硅的方法。在美国专利号6，843，972B2中，Klein等人公开了一种通过与固体碱接触来纯化三氯硅烷的方法。在美国专利号6，852，301B2中，Block等人公开了一种生产硅烷的方法:通过使冶金硅与四氯化硅SiCl4和氢气反应，从而形成四氯化硅和三氯硅烷SiHCl3的粗气体流(crude gas stream);通过用经冷凝的氯娃烧进行洗漆,从所述的粗气体流中移除杂质；通过蒸懼对经纯化的粗气体流进行冷凝和分离；使部分四氯化娃流返回(retur本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：布鲁斯·黑兹尔坦，
申请(专利权)人：GTAT有限公司，
类型：
国别省市：