光学高温计和使用该光学高温计处理半导体的设备制造技术

本发明专利技术提供了一种光学高温计和一种使用该光学高温计处理半导体的设备，所述光学高温计包括：具有接收端的接收部，接收端用于接收加热单元的光辐射；和壳部，覆盖除接收部的接收端以外的接收部，其中，接收部的接收端的与接收部的接收端的纵向垂直的截面的面积朝接收部的接收端的端部减小。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及一种光学高温计和一种使用该光学高温计处理半导体的设备，更具体地讲，涉及一种改进了接收部的结构的光学高温计和一种使用该光学高温计处理半导体的设备。
技术介绍
在半导体处理设备中，对半导体的处理通常需要热处理。例如，在化学气相沉积设备中，有机化合物的外延生长是热化学反应。在热处理中，机械地准确测量并控制温度对于品质和可靠的膜形成是必需的。在半导体处理设·备中，用于测量来自热源(例如，被加热的晶片或被加热的晶片支持物)照射的光的温度的光学高温计用作用于测量温度的设备。
技术实现思路
提供了一种光学高温计和一种使用该光学高温计处理半导体的设备，该光学高温计具有减少接收部的污染的结构。其他方面将在下面的描述中部分地进行阐述，并且部分地通过该描述将是清楚的，或者可以通过给出的示例性实施例的实施而明了。根据本公开的一方面，光学高温计包括:接收部，具有用于接收加热单元的光辐射的接收端；和壳部，覆盖除接收部的接收端以外的接收部，其中，接收部的接收端的与接收部的接收端的纵向垂直的截面的面积朝接收部的接收端的端部减小。接收部的接收端可以具有半球形形状、锥形形状、圆锥形形状、截圆锥形形状、多棱锥形形本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学高温计，包括：具有接收端的接收部，接收端用于接收加热单元的光辐射；以及壳部，覆盖除接收部的接收端以外的接收部，其中，接收部的接收端的与接收部的接收端的纵向垂直的截面的面积朝接收部的接收端的端部减小。

【技术特征摘要】
2012.01.30 KR 10-2012-00092051.一种光学高温计，包括: 具有接收端的接收部，接收端用于接收加热单元的光辐射；以及 壳部，覆盖除接收部的接收端以外的接收部， 其中，接收部的接收端的与接收部的接收端的纵向垂直的截面的面积朝接收部的接收端的端部减小。2.如权利要求1所述的光学高温计，其中，接收部的接收端具有半球形形状、锥形形状、截圆锥形形状和截多棱锥形形状中的任意一种。3.如权利要求2所述的光学高温计，其中，锥形形状包括圆锥形形状和多棱锥形形状中的任意一种。4.如权利要求1所述的光学高温计，所述光学高温计还包括用于将净化气体注入接收部和壳部之间的净化气体注入部。5.如权利要求4所述的光学高温计，其中，通过净化气体注入部注入的净化气体的流率被设置成使得在接收部的接收端处产生的涡流为最大的值。6.如权利要求1所述的光学高温计，其中，接收部包括用于传输光的导光管。7.如权利要求1所述的光学高温计，其中，壳部的端部相对于接收部的接收端的端部突出。8.一种半导体处理设备，包括: 用于容纳基底的室，所述基底用于处理半导体； 加热单元，用于加热室的内部；以及 高温计，用于检测室的内部的温度，所述高温计包括接收部和壳部，接收部具有接收端，接收端用于接收加热单元的光辐射，壳部覆盖除接收部的接收端以外的接收部， 其中，接收部的接收端的与接收部的接收端的纵向垂直的截面的面积朝接收部的接收端的端部减小。9.如权利要求8所述的半导体处理设备，其中，接收部的接收端具有半球形形状、锥形形状、截圆锥形形状和截多棱锥形形状中的任意一种。10.如权利要求9所述的半导体处理设备，其中，锥形形状包括圆锥形形状和多棱锥形形状...

【专利技术属性】
技术研发人员：许寅会，申东明，洪钟波，金秋浩，池元秀，金俊佑，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：