光学高温计和使用该光学高温计处理半导体的设备制造技术

本发明专利技术提供了一种光学高温计和一种使用该光学高温计处理半导体的设备，所述光学高温计包括：具有接收端的接收部，接收端用于接收加热单元的光辐射；和壳部，覆盖除接收部的接收端以外的接收部，其中，接收部的接收端的与接收部的接收端的纵向垂直的截面的面积朝接收部的接收端的端部减小。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及一种光学高温计和一种使用该光学高温计处理半导体的设备，更具体地讲，涉及一种改进了接收部的结构的光学高温计和一种使用该光学高温计处理半导体的设备。
技术介绍
在半导体处理设备中，对半导体的处理通常需要热处理。例如，在化学气相沉积设备中，有机化合物的外延生长是热化学反应。在热处理中，机械地准确测量并控制温度对于品质和可靠的膜形成是必需的。在半导体处理设·备中，用于测量来自热源(例如，被加热的晶片或被加热的晶片支持物)照射的光的温度的光学高温计用作用于测量温度的设备。
技术实现思路
提供了一种光学高温计和一种使用该光学高温计处理半导体的设备，该光学高温计具有减少接收部的污染的结构。其他方面将在下面的描述中部分地进行阐述，并且部分地通过该描述将是清楚的，或者可以通过给出的示例性实施例的实施而明了。根据本公开的一方面，光学高温计包括:接收部，具有用于接收加热单元的光辐射的接收端；和壳部，覆盖除接收部的接收端以外的接收部，其中，接收部的接收端的与接收部的接收端的纵向垂直的截面的面积朝接收部的接收端的端部减小。接收部的接收端可以具有半球形形状、锥形形状、圆锥形形状、截圆锥形形状、多棱锥形形状和截多棱锥形形状中的任意一种。光学高温计还可以包括用于将净化气体注入接收部和壳部之间的净化气体注入部。通过净化气体注入部注入的净化气体的流率可以设置成使得在接收部的接收端处产生的涡流为最大的值。 接收部可以包括用于传输光的导光管。接收部可以由透明材料形成。壳部的端部可以相对于接收部的接收端的端部突出。接收部的接收端可以布置成邻近加热单元。根据本公开的另一方面，半导体处理设备包括:室，用于容纳基底，所述基底用来处理半导体；加热单元，用于加热室的内部；和高温计，用于检测室的内部的温度，所述高温计包括接收部和壳部，接收部具有接收端，接收端用于接收加热单元的光辐射，壳部覆盖除接收部的接收端以外的接收部，其中，接收部的接收端的与接收部的接收端的纵向垂直的截面的面积朝接收部的接收端的端部减小。接收部的接收端可以具有半球形形状、锥形形状、圆锥形形状、截圆锥形形状、多棱锥形形状和截多棱锥形形状中的任意一种。半导体处理设备还可以包括用于将净化气体注入接收部和壳部之间的净化气体注入部。通过净化气体注入部注入的净化气体的流率可以设置成使得在接收部的接收端处产生的涡流为最大的值。接收部可以包括用于传输光的导光管。接收部可以由透明材料形成。壳部的端部可以相对于接收部的接收端的端部突出。接收部的接收端可以布置成邻近加热单元。半导体处理设备可以是有机化学沉积设备。半导体处理设备还可以包括被加热单元加热并用于支持室中的基底的支持物，其中，接收部的接收端布置成邻近支持物。支持物可以是用于支持基底的衬托器。 根据本公开的另一方面，光学高温计包括:壳部，包括空心管，所述空心管具有敞开的端部；和具有接收端的接收部，所述接收部布置在空心管的内部使得接收端邻近所述敞开的端部，其中，接收端的截面积沿纵向朝接收端的端部减小。接收部的接收端可以具有半球形形状、锥形形状、圆锥形形状、截圆锥形形状、多棱锥形形状和截多棱锥形形状中的任意一种。光学高温计可以包括用于将净化气体注入接收部和壳部之间的净化气体注入部。通过净化气体注入部注入的净化气体的流率可以设置成使得在接收部的接收端处产生的涡流为最大的值。接收部可以包括用于传输光的导光管。壳部的敞开的端部可以相对于接收部的接收端的端部突出。附图说明由下面结合附图进行的对实施例的描述，这些和/或其他方面将变得清楚并且更加容易理解，其中:图1是根据本公开的实施例的高温计的示意性剖视图；图2示出了在图1的高温计中接收部的接收端的结构的示例；图3A和图3B示出了在图1的高温计中接收部的接收端的结构的其他示例；图4示出了在根据本公开的实施例的高温计中接收部的接收端附近观察到的净化气体的流动；图5示出了在根据对比示例的高温计中接收部的接收端附近观察到的净化气体的流动；图6是示出了在根据本公开的实施例的高温计和根据对比示例的高温计中接收部的接收端处测量的污染量的曲线图；以及图7是使用图1的高温计的半导体处理设备的示意性剖视图。具体实施例方式现在将详细地参照示例性实施例,在附图中示出了示例性实施例的示例,其中,相同的附图标记始终表示相同的元件。在这方面，给出的示例性实施例可以具有不同的形式并且不应被解释为局限于这里阐述的描述。因此，以下通过参照附图来仅描述这些实施例以解释本公开的多个方面。当诸如“中的至少一种(个)(者)”的表述在一系列元件之后时，是修饰整个系列的元件，而不是修饰该系列中的个别元件。图1是根据本公开示例性实施例的高温计100的示意性剖视图。图2示出了在图1的高温计100中接收部110的接收端IlOa的结构的示例。参照图1和图2，根据本实施例的高温计100包括:接收部110，用于接收加热体照射的光；壳部120，用于保护接收部110 ;和外壳130，用于结合接收部110和壳部120。接收部110由透明材料形成，且可以是例如导光管。接收部110的一端是用于接收光的接收端110a，而接收部110的另一端连接到光接收装置(未示出)。壳部120可以具有空心管的形状。壳部120的端部可以比接收部110的接收端IlOa稍长地延伸。用于将接收部110的另一端连接到光电检测器(未示出)的光缆插入在套圈组件140中。在一些情况下，光接收装置可以直接附于接收部110的另一端。 可以提供用于将净化气体注入到接收部110和壳部120之间的空间中的净化气体注入部150。净化气体注入部150连接到净化气体供给源(未示出)。净化气体可以是惰性气体或实质上不发生化学反应的诸如氮的非反应性气体。净化气体注入到接收部110和壳部120之间的空间中，向着接收部110的接收端IlOa射出。净化气体限制接收部110和填充室(参照图7的210)的内部的反应性气体之间的接触，因此可以减少或防止反应性气体对接收部110的污染。参照图2，接收部110的接收端IlOa可以具有半球形形状。由于接收端IlOa具有半球形形状，因此通过接收部110和壳部120之间的间隙喷射的净化气体可以有效地产生涡流，使得接收部110的接收端IlOa可以有效地被净化气体覆盖。使用高温计100的半导体处理设备的室中的反应性气体污染的接收端IlOa可能产生不良影响，当净化气体覆盖接收端IlOa时，可以防止所述不良影响。根据本实施例的接收端IlOa的半球形形状仅仅是垂直于其纵向的接收端截面的面积朝端部减小的形状的示例，而本公开不限于此。例如，如图3A所示，接收部110'的接收端110' a可以具有端部逐渐变尖锐的锥形形状，例如圆锥形形状或多棱锥形形状。参照图3B，接收端110 a具有上表面平坦的截圆锥形形状或截多棱锥形形状。截圆锥形形状或截多棱锥形形状可以被修改为具有圆形上表面。具有垂直于其纵向的接收端截面的面积朝端部减小的形状的任何接收端可以产生上述的涡流。图4示出了在根据本公开实施例的高温计中接收部的接收端附近观察到的净化气体的流动。图5示出了在根据对比示例的高温计中接收部的接收端附近观察到的净化气体的流动。参照图4，根据本示例性实施例的高温计100的接收部110的接收端IlOa具有半球形形状。因本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学高温计，包括：具有接收端的接收部，接收端用于接收加热单元的光辐射；以及壳部，覆盖除接收部的接收端以外的接收部，其中，接收部的接收端的与接收部的接收端的纵向垂直的截面的面积朝接收部的接收端的端部减小。

【技术特征摘要】
2012.01.30 KR 10-2012-00092051.一种光学高温计，包括: 具有接收端的接收部，接收端用于接收加热单元的光辐射；以及 壳部，覆盖除接收部的接收端以外的接收部， 其中，接收部的接收端的与接收部的接收端的纵向垂直的截面的面积朝接收部的接收端的端部减小。2.如权利要求1所述的光学高温计，其中，接收部的接收端具有半球形形状、锥形形状、截圆锥形形状和截多棱锥形形状中的任意一种。3.如权利要求2所述的光学高温计，其中，锥形形状包括圆锥形形状和多棱锥形形状中的任意一种。4.如权利要求1所述的光学高温计，所述光学高温计还包括用于将净化气体注入接收部和壳部之间的净化气体注入部。5.如权利要求4所述的光学高温计，其中，通过净化气体注入部注入的净化气体的流率被设置成使得在接收部的接收端处产生的涡流为最大的值。6.如权利要求1所述的光学高温计，其中，接收部包括用于传输光的导光管。7.如权利要求1所述的光学高温计，其中，壳部的端部相对于接收部的接收端的端部突出。8.一种半导体处理设备，包括: 用于容纳基底的室，所述基底用于处理半导体； 加热单元，用于加热室的内部；以及 高温计，用于检测室的内部的温度，所述高温计包括接收部和壳部，接收部具有接收端，接收端用于接收加热单元的光辐射，壳部覆盖除接收部的接收端以外的接收部， 其中，接收部的接收端的与接收部的接收端的纵向垂直的截面的面积朝接收部的接收端的端部减小。9.如权利要求8所述的半导体处理设备，其中，接收部的接收端具有半球形形状、锥形形状、截圆锥形形状和截多棱锥形形状中的任意一种。10.如权利要求9所述的半导体处理设备，其中，锥形形状包括圆锥形形状和多棱锥形形状...

【专利技术属性】
技术研发人员：许寅会，申东明，洪钟波，金秋浩，池元秀，金俊佑，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：